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全自動晶體定向儀應用

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全自動晶體定向儀應用

發布日期:2020-12-24 00:00 來源:http://www.xhl88.com 點擊:

常規晶格的方向是和轉臺的旋轉軸保持一致,獲得晶體表面參考的一種可能性是將其精確地放置在調整好旋轉軸的測量臺上,并將測量裝置安裝在測量臺下面。如果要研究大晶體,或者要根據測量結果進行調整,就把晶體放置在轉臺上。上表面的角度關系可以通過附加的光學工具獲取。方位角基準也可以通過光學或機械工具來實現。

如果只測量一個或幾個主要方向的材料,則可以使用所描述的簡單類型的排列方式,對于每個不同類型的反射都有對應的合適的面罩。有時,為了擴大接收角范圍,可以使用兩個探測器。              

為了更廣泛的應用,該裝置配備有X射線管和探測器系統的設置能力。              

是用于研究放置在測量臺上的表面均勻的晶體的桌面衍射儀。它的射線和檢測裝置安裝在設備下方,可以應用于大量的晶體種類和取向。可調止動器允許測量方位角,例如晶片的平面或凹口。

另一種類型的裝置,可以用于測量更大的晶體,并且可以配備有用于任何形狀和錠的晶體束的調節裝置,用于測量渦輪葉片、碳化硅晶圓藍寶石晶圓等數百種晶體材料。為了能夠測量不同的材料和取向,X射線管和檢測器可以使用相應的圓圈來移動。這也允許常規衍射測量。因此,Omega掃描測量可以與搖擺曲線掃描相結合,用于評估晶體質量。而且初級光束準直器配備有Ge切割晶體準直器,這兩種模式都可以快速便捷地交換使用。        

這種類型的衍射儀還可以配備一個X-Y平臺,用于在轉臺上進行3Dmapping繪圖。它可以應用于整體晶體取向確定以及搖擺曲線mapping測量。

另外,針對碳化硅SiC、砷化鎵GaAs等晶圓生產線,可搭配堆疊裝置,一次性同時定位12塊鑄錠,大幅度提高晶圓生產效率和減小晶圓生產批次誤差。

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