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硅單晶晶片定向儀

硅單晶晶片定向儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

硅單晶晶片定向儀

DX-7A硅單晶晶片定向儀(7AC7AS7AZ)

功能:該儀器主要用于測定切割后的硅單晶晶片表面及參考面的角度,也可用于測定其它種類單晶材料的晶片。儀器配有吸氣泵。可測定直徑為 3-8 英寸的晶片,測定晶面為 100 110 111 210 等。該儀器為雙工作臺,可同時完成相同任務,也可分別測定晶片表面和參考面,根據用戶需要配置。

技術參數:

項目

參     

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

測定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

綜合精度

±30″(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

 


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