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硅單晶錠復檢儀

硅單晶錠復檢儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

硅單晶錠復檢儀

DX-7CZ硅單晶錠粘結儀

功能:此型儀器專門用于硅單晶錠的粘結,晶錠用我公司的DX-7C型X射線定向儀測定后,在本儀器上粘結,和多線切割機配套使用。

特點:此儀器有一個定位板,由兩臺單片機控制,步進電腦驅動,用于晶錠在粘結料板(工件板)上位置和角度調節。考慮到粘結膠凝固需一定時間,為提高生產率,該儀器可同時容納3塊已粘料板。每塊料板上可粘結較短晶錠多塊;但如需“復檢”,則只能粘2塊。

技術參數:

項目

參     數

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

晶錠直徑

3-8英寸

晶錠最大長度

500mm

料板最大長度

500mm

料板寬度

70mm、100mm、150mm

定位板轉角(&)

±10°

轉角最小讀數

1"

 


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