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定向儀

定向儀

  • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2015/11/10
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詳細介紹

定向儀

功能:該儀器主要用于硅單晶錠柱面定向,測定OF面,也可用于測定其它半導體單晶錠OF面。 晶錠垂直放置在工作臺上,在X-RAY的照射下,測定OF

技術參數:

項目

參     

輸入電源

單相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管電壓

30kV

管電流

0-5mA連續可調

接收器

蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V。

X射線管

銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

定向精度

±30"(用標準石英片10ī1面測量)

最小讀數

1"

外形尺寸

1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

儀器重量

300kg

晶錠直徑

Φ200

晶錠最大長度

500mm

定向晶面

110

 

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